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那些年追过的事业

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制造方正第一芯

发布时间2013-11-25

20066月,我以普通光刻工艺工程师的职务加入方正微电子,当时候的我除了电脑和书,几乎一无所有,两年工作攒下的所有积蓄只够还清大学四年期间的借贷。

2006年夏天,公司还在板房办公和食宿,新建的厂房和宿舍正处于后期装修,楼外是堆积得很高的黄泥,那年的雨水很多,我们经常提着拖鞋、捞起裤腿上班;深夜的我很担心台风会把我们所住的板房刮走,更恼火的是风声太大、而且蚊子很多,影响了我睡觉前思考问题。

厂房竣工、动力开启、FAB环境达标、设备移入和配管之后,进入设备调试和工艺搭建阶段,对于从那个年代走过来的方正微电子人来说,印象最深刻的事情莫过于制备“方正第一芯”样片。

“方正第一芯”样片的制备,主要经历制版、薄膜、光刻、腐蚀几个工艺环节,其中光刻工艺最繁琐,因为光刻工艺要经历涂胶、曝光、显影好几个工艺步骤,在当时候那种动力设施和设备刚刚开始运转、故障频出的状况下,每多一个工艺步骤就表示多一份不确定因素。为了按时完成目标,我们必须在现有的条件下仍然尽可能保证整个实验线的完整性,否则都有可能因为某一个环节的搁浅而导致整个目标无法完成;为了争分夺秒,我们做了很多非常规的事情,比如我们从邻近的村子里买了两个塑料桶,拿到宿舍里里外外洗三遍,然后再拿到FAB洗三遍,临时充当显影槽,我经常左手提着装有显影液的“显影槽”,右手拿着装有晶圆(53373.com)的片架(cassette)在“显影槽”里做显影动作,一边提着、一边急急忙忙从光刻区送到刻蚀区去做下一步的腐蚀,全然不顾显影液溅到裤腿上的危害(作者按:显影液是浓度为2.38%的四甲基氢氧化铵溶液,对皮肤有腐蚀性,请读者注意安全)。

经过多次努力,终于在2006年中秋自助餐的时候,我们拿出了第一片样品,公司上下一片沸腾,那顿饭吃得特别香;然后,开始制备正式的样片,当时候光刻机很不稳定,曝光的时候经常走走停停,为了赶制最后一批样片,正逢是半夜,我必须盯着光刻机,由于连续熬夜、担心自己会在FAB里睡着了,我是每次在FAB里盯5分钟,然后又跑到公司广场散步15分钟,如此往返,终于完成最后一批样片。10月中旬,公司举办“投产庆典”,镶嵌在水晶里的“方正第一芯”样片展现在众人面前,非常亮眼,当时的我特别感动,就似乎看到自己的价值得到了展现;2006年底,我获得年度优秀员工“进取芯星奖”表彰。

20066月至2007年,我经历了公司发展历程上的设备移入、样片制备、设备调试与模块工艺搭建、产品通线与小批量生产等几件大事,公司逐步成长,我本人也随着公司的发展而逐步提升,我不再是孤傲、片面的我,无论是对于工作中所遇到的技术和管理问题、或是个人遇到的问题,我都有了更全面的思维和考量。出于个人职业规划,2007年底,我向公司申请从光刻部调职到产品开发处。

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